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短沟道SOI/SDB CMOS器件性能研究
短沟道SOI/SDB CMOS器件性能研究
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ribb5619
【摘 要】
:
利用硅栅自对准分离子注入工艺制备了SOI/SDB CMOS器件,讨论了该器件的短沟道效应、“Kink”效应以及SOI硅膜厚度对NMOS、PMOS管参数的影响。
【作 者】
:
詹娟
【机 构】
:
东南大学微电子中心
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1997年5期
【关键词】
:
SOI
硅片直接键合
CMOS
硅器件
集成电路
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利用硅栅自对准分离子注入工艺制备了SOI/SDB CMOS器件,讨论了该器件的短沟道效应、“Kink”效应以及SOI硅膜厚度对NMOS、PMOS管参数的影响。
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