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由于半导体制造业的高收益性激烈竞争，它的生产线复杂，特别是车间层的复杂控制问题，已成为研究的热点，半导体产生产线不同于Ｊｏｂ－ｓｈｏｐ和Ｆｌｏｗ－ｓｈｏｐ的第三种类型生产线，它的加工路径长，在回流（Ｎｏｎ－ａｃｙｃｌｉｃ）且随机性大，此我，设备特性各异，因此，如何有效地管理，使之满意市场竞争的需要，是对研究者和工业 巨大挑战，本文从设备特性，控制问题内容和解决途径的角度，对该领域近几年的主要研究成