【摘 要】
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软X射线-真空紫外反射率计系统由光源、单色仪、反射率计、电子学及微机控制系统等几部分组成。可完成各种光学镜面、光栅、成像系统等的性能评价工作，反射率计真空室直径φ80
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软X射线-真空紫外反射率计系统由光源、单色仪、反射率计、电子学及微机控制系统等几部分组成。可完成各种光学镜面、光栅、成像系统等的性能评价工作，反射率计真空室直径φ800mm，长1200mm，工作波段25～100nm，更换光源和探测器可扩展到1～250nm，角分辨率0．03°，扫描范围0～90°。
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