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期刊论文
微电子用聚酰亚胺亚胺化峰
微电子用聚酰亚胺亚胺化峰
来源 :华中理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zlk84
【摘 要】
:
介绍了高分子聚合物聚酰胺的亚胺化原理和实用方法,实验发现薄膜材料红外吸收峰800cm^-1的强弱与亚胺化程度有关;给出的判别与计量方法能确定材料的亚胺化程度。
【作 者】
:
应建华
吴正元
【机 构】
:
华中理工大学固体电子学系
【出 处】
:
华中理工大学学报
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
微电子学
聚酰亚胺
亚胺化
薄膜
集成电路
microelectronics
polyimide
imidization
absorption peak
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介绍了高分子聚合物聚酰胺的亚胺化原理和实用方法,实验发现薄膜材料红外吸收峰800cm^-1的强弱与亚胺化程度有关;给出的判别与计量方法能确定材料的亚胺化程度。
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