【摘 要】
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采用磁控溅射法,通过ZnO陶瓷靶和Mg金属靶在石英衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜。研究了Mg原子含量对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性能的影响。XRD测试结果表明,MgxZn1-xO薄膜在(0002
【机 构】
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深圳大学深圳市特种功能材料重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(10604041,10674133),广东省自然科学基金,深圳市科技计划项目(200706)
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采用磁控溅射法,通过ZnO陶瓷靶和Mg金属靶在石英衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜。研究了Mg原子含量对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性能的影响。XRD测试结果表明,MgxZn1-xO薄膜在(0002)方向有明显的c轴择优取向。随着Mg原子含量的提高,薄膜由六角单相转化为六角相和立方相的混合相。MgxZn1-xO合金薄膜的透射谱表明,薄膜的透射率略有下降,但在可见光区域的平均透射率仍大于85%,吸收边逐渐蓝移,最短的吸收边为283nm。能隙宽度图表明,MgxZn1-xO薄膜的能隙宽度从3.36eV增加
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