【摘 要】
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为了测量高功率激光传输系统中大口径高反射率元件,研制了一种镜面扫描的精密测量系统.介绍了该系统的结构及其工作原理,分析了影响系统测量精度的因素,理论上估算的测量精度
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为了测量高功率激光传输系统中大口径高反射率元件,研制了一种镜面扫描的精密测量系统.介绍了该系统的结构及其工作原理,分析了影响系统测量精度的因素,理论上估算的测量精度为2×10-5.在直腔下对该系统的性能进行了实验测试,分析表明,系统的测量不确定度优于2.052 28×10-5,最大测量误差为3.554 04×10-5,与理论预计结果吻合较好.对大口径元件进行的多次实验扫描测试,结果显示,镀膜加工误差导致反射率分布是关于镜面中心呈旋转对称.该系统的使用大大简化了元件表面反射率分布的测量.
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