【摘 要】
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利用压电薄膜激励或检出超声波的技术早在1964年福斯特等人就已开始了研究,后来发表了很多论文。现在,超声波正被广泛应用。但主要是用PZT、LiNbO_3、水晶等作为超声波换能
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利用压电薄膜激励或检出超声波的技术早在1964年福斯特等人就已开始了研究,后来发表了很多论文。现在,超声波正被广泛应用。但主要是用PZT、LiNbO_3、水晶等作为超声波换能器激励或检出超声波,而薄膜换能器的应用还不很广泛。但是在高频领
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