【摘 要】
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离子注入机的靶室有多种结构形式,本文介绍仿制美国埃克斯朗公司旋转木马式结构靶室进行自动控制设计中所遇到的一些问题的解决办法和设计思想。
The ion implanter target
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离子注入机的靶室有多种结构形式,本文介绍仿制美国埃克斯朗公司旋转木马式结构靶室进行自动控制设计中所遇到的一些问题的解决办法和设计思想。
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