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加强松池法及其在静电一力耦合问题仿真分析中的应用
加强松池法及其在静电一力耦合问题仿真分析中的应用
来源 :机械强度 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qunimad41197579
【摘 要】
:
基于有限元和边界元融合法,建立了一种新的求解微电子机械系统(MEMS)中多能场耦合问题的数值方法--加速松驰法。这种方法能有效地避免使用于牛顿法时求解Jacobi方程的困难。算例表
【作 者】
:
高行山
林胜勇
等
【机 构】
:
西北工业大学工程力学系
【出 处】
:
机械强度
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
微电子机械系统
数值方法
加速松驰法
仿真
能量场
耦合
Microelectromechanical system
Numerical technique
【基金项目】
:
西北工业大学“双新”项目资助
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基于有限元和边界元融合法,建立了一种新的求解微电子机械系统(MEMS)中多能场耦合问题的数值方法--加速松驰法。这种方法能有效地避免使用于牛顿法时求解Jacobi方程的困难。算例表明,加速松驰法具有收敛速度快、稳定性好等特点。
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