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讨论了喷金效应、荷电效应、电子束损伤效应、边缘效应以及污染等损坏SEM图像质量的因素，提出了解决办法。
常见扫描电镜图像损坏原因和解决方法
【摘 要】
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讨论了喷金效应、荷电效应、电子束损伤效应、边缘效应以及污染等损坏SEM图像质量的因素，提出了解决办法。
【机 构】
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复旦大学高分子科学系
【出 处】
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分析仪器
【发表日期】
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2007年1期
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