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本文介绍了使用扩展电阻探针，通过测试硅外延片、器件芯片和集成电路特定区域的纵向杂质分布，从而用以器件开发、工艺调控和失效分析。
扩展电阻探针在器件开发和失效分析中的应用
【摘 要】
：
本文介绍了使用扩展电阻探针，通过测试硅外延片、器件芯片和集成电路特定区域的纵向杂质分布，从而用以器件开发、工艺调控和失效分析。
【机 构】
：
上海市计量测试技术研究院
【出 处】
：
上海计量测试
【发表日期】
：
1999年6期
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