【摘 要】
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介绍了一种以石墨烯作为气敏材料的高灵敏度、快速响应的NH3气体传感器的制备与测试.该气体传感器制备工艺简单,仅需要在微电子机械系统(MEMS)工艺制备好的Au叉指电极上喷涂
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学动态测试技术山西省重点实验室,太原030051;天津伟加环境科技有限公司,天津300450
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介绍了一种以石墨烯作为气敏材料的高灵敏度、快速响应的NH3气体传感器的制备与测试.该气体传感器制备工艺简单,仅需要在微电子机械系统(MEMS)工艺制备好的Au叉指电极上喷涂氧化还原处理后的石墨烯即可.在不同的温度、NH3体积分数下对其气敏特性进行测试.测试结果表明,在25～100℃时,传感器的灵敏度与温度的线性相关系数高达0.981 42;在体积分数0～8×10-4的NH3中,传感器的灵敏度与NH3体积分数线性相关系数高达0.995 6,在NH3体积分数为10-4、环境温度为25℃时,传感器的灵敏度为3.544 36％.同时,该传感器具有较广的检测范围,在NH3体积分数为10-2时,其响应和恢复时间分别仅为38 s和26 s,且具有较好的选择性和重复性.
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