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微机电系统（MEMS）是一种通过以硅为原材料的、将微电子和微机械技术集于一体的微细加工技术，实现各种机械元件、传感器、触动器和电子电路在硅片上的集成。
MEMS麦克风带来超清晰录音功能
【摘 要】
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微机电系统（MEMS）是一种通过以硅为原材料的、将微电子和微机械技术集于一体的微细加工技术，实现各种机械元件、传感器、触动器和电子电路在硅片上的集成。
【机 构】
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《中国电子商情：基础电子》记者
【出 处】
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中国电子商情(基础电子)
【发表日期】
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2008年12期
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