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硅各向异性腐蚀技术
硅各向异性腐蚀技术
来源 :黑龙江商学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zkhjpaul
【摘 要】
:
论述了硅各向异性腐蚀技术在国内外的水平和发展趋势,攻关成果的推广应用前景.
【作 者】
:
王丰
吕平临
李敬文
【机 构】
:
黑龙江商学院电子工程系,黑龙江哈尔滨,150076;黑龙江计算机总公司,黑龙江哈尔滨,150001;黑龙江省计划生育信息中心,黑龙江哈尔滨,150001
【出 处】
:
黑龙江商学院学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
硅各向异性腐蚀
硅杯结构
推广应用
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论述了硅各向异性腐蚀技术在国内外的水平和发展趋势,攻关成果的推广应用前景.
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