硅各向异性腐蚀相关论文
利用[100]晶向硅在KOH:H2O中经过两步各向异性腐蚀制作各种微光学结构。此方法的关键步骤是掩膜版图的设计。研究中通过计算机编程......
纳米裂纹制造技术作为一种非传统的纳米加工技术被应用于纳米线条、纳流控芯片和传感器等众多研究领域,然而纳米裂纹生成的随机性......
系统研究了硅各向异性腐蚀对偏压的依赖及重掺杂的影响,建立了液一半接触能带模型和界面电荷传递模型,提出了反应注入概念且指出腐......
随着微纳研究技术的不断深入,微电子机械系统(MEMS)也越来越趋于实用化。硅各向异性腐蚀,作为MEMS领域三维加工工艺,对其腐蚀机理和计......
研究了一种利用硅微结构直接作为模具制作微小固体染料激光器谐振腔.它采用了硅的深层反应离子刻蚀技术(deep-RIE)并结合硅的各向......
讨论了一种制作非球面微光学元件的新方法。此方法的关键步骤是将(100)硅在KOH∶H2O中的两步各向异性腐蚀。首先在硅衬底的掩模上开......
研究了硅的多次掩膜各向异性腐蚀过程,提出了多次掩膜各向异性腐蚀掩膜版计算机辅助设计的方法。......
讨论了一种制作球面和非球面轮廓光学微结构的新方法。此方法的关键步骤是(100)硅在KOH:H2O中的两步各向异性腐蚀。首先在硅衬底的掩......
回顾和总结了国产电阻阵列3个发展阶段的主要技术方案、优缺点和最终结果。第一代64×64电阻阵列采用了体材料微机械加工的单晶硅......