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依据TFDC(Thomas-Fermi-Dirac-Cheng)电子理论的内应力机理预测和阐述了几个重要的实验现象:镀在基底上的膜层中具有很大的内应力;将基底腐蚀掉后,所镀的纳米级复合膜层可以卷曲形成纳米管;在基底上注入电子密度不同的材料可改变膜中的内应力.
纳米管形成与内应力
【摘 要】
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依据TFDC(Thomas-Fermi-Dirac-Cheng)电子理论的内应力机理预测和阐述了几个重要的实验现象:镀在基底上的膜层中具有很大的内应力;将基底腐蚀掉后,所镀的纳米级复合膜层可以
【机 构】
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西北核技术研究所
【出 处】
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自然科学进展
【发表日期】
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2003年1期
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