氧气—乙炔火焰法在Al2O3陶瓷上沉积金刚石薄膜

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用氧气-乙炔火焰法在氧化铝陶瓷片上沉积出了金刚石薄膜,并观察了薄膜的形貌结构及其在基片上的分布规律。对基片进行了适当的预处理,可以提高金刚石薄膜在基片上的成核密度。认为氧化铝陶瓷片与沉积金刚石薄膜之间易形成过渡层,初步探讨了在氧化铝陶瓷片上沉积金刚石薄膜的机理。
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