【摘 要】
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用等离子体增强磁控溅射（PEMs）方法制备了TiSiCN、TiCrSiCN和CrSiCN涂层，并在空气中进行700℃退火处理。利用扫描电子显微镜、能谱仪和x射线衍射仪表征了退火处理前后涂层的断面
【机 构】
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西南交通大学材料科学与工程学院,重庆文理学院新材料技术研究院
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用等离子体增强磁控溅射（PEMs）方法制备了TiSiCN、TiCrSiCN和CrSiCN涂层，并在空气中进行700℃退火处理。利用扫描电子显微镜、能谱仪和x射线衍射仪表征了退火处理前后涂层的断面形貌、成分和微结构。研究了退火处理对3种涂层的硬度、韧性和膜基结合性能的影响以及它们的高温抗氧化性能。结果表明：退火处理后，TiSiCN涂层表面形成了一层均匀且较厚（1．50μm）的富氧层；CrSiCN涂层的氧化层不均匀且富氧层较薄（0．50μm）；TiCrSiCN涂层较致密，未检测到氧化物存在。3种涂层的韧性和硬
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