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根据高压大电流VDMOS的特点,利用工艺模拟软件对工艺流程进行模拟。通过将已知工艺参数与工艺模拟软件相结合,对击穿电压、阈值电压、导通电阻及开关时间进行计算。根据仿真结果计算在相同耐压条件下,不同形状的元胞在不同的元胞尺寸下对应的芯片面积变化情况。
高压大功率VDMOS的设计研究
【摘 要】
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根据高压大电流VDMOS的特点,利用工艺模拟软件对工艺流程进行模拟。通过将已知工艺参数与工艺模拟软件相结合,对击穿电压、阈值电压、导通电阻及开关时间进行计算。根据仿真
【机 构】
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西安卫光科技有限公司
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2014年05期
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