【摘 要】
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利用纳米压痕仪和原子力显微镜,分别对单晶硅Si（100）、Si（110）、Si（111）三种晶面取向的表面进行微纳米尺度下的切削性能进行了实验研究.实验结果表明：在定载荷下,刻划速度的大小对单
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利用纳米压痕仪和原子力显微镜,分别对单晶硅Si（100）、Si（110）、Si（111）三种晶面取向的表面进行微纳米尺度下的切削性能进行了实验研究.实验结果表明：在定载荷下,刻划速度的大小对单晶硅Si（100）、Si（110）晶面取向的切削力、摩擦系数的大小影响较小,但对单晶硅Si（111）晶体取向影响较大;在较低载荷下,单晶硅各晶面取向表面划痕细小,深度较浅且不明显,切削力大小无明显变化规律.随着载荷的逐渐增大,划痕宽度及深度也逐渐增大,切削力也相应增大,但并非呈线性增长.当载荷增大到一定值后,单晶硅各
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