论文部分内容阅读
设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜．这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中，当电流信号通过驱动线圈时，MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动．采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能，实验获得的扫描镜静态转角斜率为0．03°／mA，当器件进行动态扫描时，在381Hz的谐振频率下获得了最大±10．2°的光学扭转角度，空气中的Q因子为221，相应的