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计算了薄膜在高功率脉冲激光作用下截面温度场和应力分布场 .分析了热冲击在光学薄膜激光损伤中的作用,并用调 Q 1. 06μ m脉冲激光对 Z<sub>r</sub>O<sub>2</sub>单层薄膜损伤,讨论了不同激光强度下薄膜截面温度场与应力场分布,揭示了热冲击在 Z<sub>r</sub>O<sub>2</sub>单层膜损伤中的机理和过程 .