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本文主要介绍在半导体工艺线上对有关工艺进行Ｃ－ｔ检测及应用，结果表明这对提高工艺质量及产品成品率是重要的。
半导体工艺线上的C—t检测及其应用
【摘 要】
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本文主要介绍在半导体工艺线上对有关工艺进行Ｃ－ｔ检测及应用，结果表明这对提高工艺质量及产品成品率是重要的。
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所微电子学分部,上海复旦大学材料研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1994年3期
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