靶电流对磁控溅射减摩复合镀层组织与性能的影响

来源 :西安工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangrong825
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目前我国溅镀轴瓦依赖进口.采用非平衡磁控溅射在轴承合金表面制备了AlSn20/C复合镀层,分析了碳靶电流的改变对轴承合金表面复合镀层的表面形貌、硬度、耐蚀性、膜基结合力以及摩擦系数等的影响.研究结果表明:当碳靶电流在1.0~1.2A时,非平衡磁控溅射AlSn20/C复合镀层;当碳靶电流为1.0A时,镀层表面组织均匀,铝原子、锡原子和碳原子达到最佳匹配;当碳靶电流在1.0~1.2A时,镀层硬度与碳靶电流成反比,当其为1.0A时,镀层硬度最高为601HV0.025,结合力最高可达33N,镀层的摩擦系数最低达到
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