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在使用无掩模腐蚀制作硅微机械结构时，其结构凸角的削角特性有地常规有掩模腐蚀时的情况。本文通过分析和实验，研究了该情况下凸角削角尺寸的变化规律和特点，并给出了对其进行补偿的原则和方法。
无掩模腐蚀下的凸角削角及补偿研究
【摘 要】
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在使用无掩模腐蚀制作硅微机械结构时，其结构凸角的削角特性有地常规有掩模腐蚀时的情况。本文通过分析和实验，研究了该情况下凸角削角尺寸的变化规律和特点，并给出了对其进行补
【机 构】
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复旦大学电子工程系传感器研究室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1998年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金,中科院传感技术国家重点实验室,“九五”科技攻关等项目的资助
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