削角补偿相关论文
详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术 .传感器采用的材料是双面抛光的 (1 0 0 )晶面硅片 ,制作中......
在(100)硅上制作边沿晶向的长方形掩模,用KOH各向异性腐蚀液腐蚀可制得竖直微镜,这种微镜存在凸角削角问题.研究了边沿晶向掩模的......
在使用无掩模腐蚀制作硅微机械结构时，其结构凸角的削角特性有地常规有掩模腐蚀时的情况。本文通过分析和实验，研究了该情况下凸角削......
针对微型双岛硅膜制作中的凸角削角腐蚀问题，提出了一种新的削角补偿方法－“两端矩形补偿法”，并在感压膜尺寸仅为０．７２ｍｍ×１ｍｍ的双岛硅膜制......
在（100)硅上制作边沿<100>晶向的长方形掩模，用KOH各向异性腐蚀液腐蚀可制得竖直微镜，这种微镜存在凸角削角问题。研究了边沿<100>晶......
通过分析硅的结晶学特性及实验考察硅各向异性腐的择估腐蚀面和削角线，研究了尖角与玟角的掩模补偿方案，提取了削角因子，并且给出了针......
详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术，传感器采用的材料是双面抛学的（１００）晶面硅片，制作中还利用了半导体......
在(100)硅上制作边沿<100>晶向的长方形掩模,用KOH各向异性腐蚀液腐蚀可制得竖直微镜,这种微镜存在凸角削角问题。研究了边沿<100>......
