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利用气相外延技术在Cd Zn Te衬底上生长Hg1-xCdxTe薄膜材料,通过在不同晶向、不同极性、不同晶向偏离角度Cd Zn Te衬底上的外延结果发现,Cd Zn Te衬底对外延形貌的影响非常大。（111）面衬底上外延形貌明显优于（211）面衬底的外延形貌。对于同是〈111〉Cd Zn Te晶向的衬底,（111）Cd面Cd Zn Te衬底上的外延形貌明显优于（111）Te面。对于（111）Cd面Cd Zn Te衬底,当晶向偏离角度不同时,其外延形貌也有差异,晶向偏离角越小表面形貌越好。