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先进陶瓷材料具有许多优异的性能,如高比强度、高比模量、密度低、硬度高、耐腐蚀、抗氧化等,从而被广泛用作高温结构部件。化学气相沉积()法工艺能制备诸如碳化物、氮化物、硼化物、氧化物等CVD多种陶瓷,因而具有广阔的应用前景。
化学气相沉积(CVD)法制备先进陶瓷材料
【摘 要】
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先进陶瓷材料具有许多优异的性能,如高比强度、高比模量、密度低、硬度高、耐腐蚀、抗氧化等,从而被广泛用作高温结构部件。化学气相沉积()法工艺能制备诸如碳化物、氮化物、
【机 构】
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国防科技大学航天与材料工程学院国防科技重点实验室,国防科技大学航天与材料工程学院国防科技重点实验室湖南长沙410073,湖南长沙410073,湖南长沙
【出 处】
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高科技纤维与应用
【发表日期】
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2002年02期
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