还原炉气柜设计

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多晶硅工厂是一个跨化工、冶金、机械、电子信息等多学科技术的新型产业,需要将这些学科技术集成于一体。多晶硅工厂所需要的设备多为专用的特殊设备,设计既精细又复杂,如:还原炉、氢化炉、气柜、调功柜,这些设备的设计往往需要涉及到温度、压力、响应时速、自动控制、使用寿命等等。本文着重讨论还原炉气柜设计的注意事项。
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