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介绍在中性区光电导调制下实现用高频Ｃ－Ｖ仪测量Ｍ／ａ－Ｓｉ：Ｈ肖特基势垒参数的方法，把所测结果与其他方法测量值作了比较，对Ａｌ／ａ－Ｓｉ：Ｈ势垒异常现象也进行了描述。
M／a—Si：H肖特基势垒参数的测量
【摘 要】
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介绍在中性区光电导调制下实现用高频Ｃ－Ｖ仪测量Ｍ／ａ－Ｓｉ：Ｈ肖特基势垒参数的方法，把所测结果与其他方法测量值作了比较，对Ａｌ／ａ－Ｓｉ：Ｈ势垒异常现象也进行了描述。
【机 构】
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内蒙古工业大学,北京工业大学
【出 处】
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应用科学学报
【发表日期】
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1997年2期
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