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硅谐振微传感器输出信号的信噪比很低，频率信号往往淹没在噪声之中．论文分析了随机共振系统的功率谱放大率和信噪比特性，提出了外差式随机共振频率检测方法，并将该方法应用于硅谐振微传感器输出信号的频率检测．理论分析和数值仿真结果表明，外差式随机共振能将更多的噪声能量转变为频率信号的能量，通过调节载波信号频率可从共振谱峰的变化中准确测定谐振频率．该方法是可行、有效的．