利用3ω法同时测量Nd：YAG晶体及其表面SiO2／ZrO2增透膜导热系数

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zuoluo1314

【摘要】

：

建立了适用于高频测量的3ω测试系统．对于薄膜／衬底复合结构，在低频范围内采用斜率-求差-3ω法，同时确定了单层薄膜和衬底的导热系数．采用低频和高频测量相结合的方法测量了Nd：YAG

【作者】

：

王照亮唐大伟

【机构】

：

中国科学院工程热物理所,中国科学院研究生院

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05A期

【关键词】

：

3ω 法导热系数增透膜微/纳米膜 3ωmethod thermal conductivity antireflective film micro/n

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建立了适用于高频测量的3ω测试系统．对于薄膜／衬底复合结构，在低频范围内采用斜率-求差-3ω法，同时确定了单层薄膜和衬底的导热系数．采用低频和高频测量相结合的方法测量了Nd：YAG晶体和（111）面上微／纳米ZrO2／SiO2多层增透薄膜中各层的导热系数．进行了不确定度分析．建立的测量原理和测试系统可用于基体表面多层薄膜以及微纳米器件热物性的表征．

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