论文部分内容阅读
玻璃镀膜是在真空室内通过化学反应将反应生成物均匀地溅射到玻璃表面.玻璃要实现镀膜要经历从正常气压到真空,再到正常气压几个过渡过程,为了控制镀膜厚度,保证镀膜质量,对工艺气体配气控制、阴极电源控制(化学反应部分)、真空泵抽气系统控制及传动系统控制等,以及相互间的联动提出了极高要求.实现大型自动控制系统的集成,天津南玻玻璃镀膜自动控制系统提供一个很好解决方案.