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薄膜反射镜将解决反射镜孔径与重量相互制约的问题，采用静电拉伸法控制薄膜反射镜面形，具有结构简单、反射镜面形易于控制等优点，其原理为利用静电场上库仑力作用使薄膜产生面形变化，生成所需的光学曲面，由于薄膜变形力学，以及静电场理论的复杂性，目前薄膜成形及其面形控制存理论分析上仍未有定量的结果，本文主要以单电极静电场中的薄膜反射镜面形为考察因素，通过数值计算的方法得到薄膜反射镜上的静电力分布，运用有限元分析获得该分布下的反射镜面形，并将其与理想面形进行比较，提出采用多电极闭环控制可获得更高的控制精度，对静电拉伸薄