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一种解耦的微机械陀螺研究
一种解耦的微机械陀螺研究
来源 :中国惯性技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:moowoo
【摘 要】
:
设计了一种解耦的微机械陀螺,它能够极大地降低正交误差信号的影响,从而大大地提高佗螺的性能;制造了一批样机,进行了初步的驱动特性和敏感特性的实验研究。研制结果表明,陀螺性能
【作 者】
:
王元山
王寿荣
许宜申
【机 构】
:
东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
:
中国惯性技术学报
【发表日期】
:
2006年4期
【关键词】
:
微机电系统
微机械加工
陀螺
解耦
MEMS
micromachined
gyroscope
decoupled
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设计了一种解耦的微机械陀螺,它能够极大地降低正交误差信号的影响,从而大大地提高佗螺的性能;制造了一批样机,进行了初步的驱动特性和敏感特性的实验研究。研制结果表明,陀螺性能符合设计要求。
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