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从技术、管理等方面入手，讨论了影响器件成品率的诸因素及提高成品率的对策。介绍了一种有效、相容 的吸杂工艺；从工艺优化设计角度讨论了提高成品率的各种途径。
提高半导体器件成品率的有效对策
【摘 要】
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从技术、管理等方面入手，讨论了影响器件成品率的诸因素及提高成品率的对策。介绍了一种有效、相容 的吸杂工艺；从工艺优化设计角度讨论了提高成品率的各种途径。
【机 构】
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航天总公司西安微电子技术研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年2期
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