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指出了去除残留液晶在LCD制造过程中的重要性,并为了适应目前ODS的替代趋势介绍了LCD行业中目前广泛采用的替代ODS的清洗剂和清洗工艺。其中详细介绍了各种替代清洗剂的组成及其优缺点,并对清洗机理进行了一定的分析最终给出了一般的工艺流程。
LCD残留液晶的清洗
【摘 要】
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指出了去除残留液晶在LCD制造过程中的重要性,并为了适应目前ODS的替代趋势介绍了LCD行业中目前广泛采用的替代ODS的清洗剂和清洗工艺。其中详细介绍了各种替代清洗剂的组成
【机 构】
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河北工业大学微电子研究所
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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2006年09期
【基金项目】
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天津市重点自然科学基金(043801211)
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