【摘 要】
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在MEMS器件加工过程中,采用ICP刻蚀不同深宽比的三维结构时,由于Lag效应的影响,使较大尺寸的线条有较快的刻蚀速率,导致刻蚀深度的差异。为了抑制Lag效应,本文以S.L.Lai的三
【机 构】
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西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,
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在MEMS器件加工过程中,采用ICP刻蚀不同深宽比的三维结构时,由于Lag效应的影响,使较大尺寸的线条有较快的刻蚀速率,导致刻蚀深度的差异。为了抑制Lag效应,本文以S.L.Lai的三阶段模型为基础,提出一种可以对Lag效应进行补偿的刻蚀模型。
In the processing of MEMS devices, when using ICP to etch three-dimensional structures with different aspect ratios, the larger size lines have a faster etching rate due to the influence of Lag effect, resulting in the difference in etching depth. In order to suppress the Lag effect, this paper proposes an etching model that can compensate for the Lag effect based on the three-stage model of S.L. Lai.
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