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针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输效率,同时开展晶圆温度技术研究,通过提升晶圆的扫描速度实现晶圆表面热量的减少,改善了工艺加工后晶圆的整体质量及性能。
提高离子注入机晶圆机械传输效率及晶圆散热优化研究
【摘 要】
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针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输
【机 构】
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中电科电子装备集团有限公司,北京烁科中科信电子装备有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2020年6期
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