【摘 要】
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一、引言全金属超高真空快速关闭阀(以下简称快阀)是同步辐射装置的重要真空保护器件。它置于光束线上游,一旦光束线的下游发生真空事故,产生大气泄漏,气体压力传
I. Intro
【机 构】
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中国科技大学,中国科技大学,中国科技大学
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一、引言全金属超高真空快速关闭阀(以下简称快阀)是同步辐射装置的重要真空保护器件。它置于光束线上游,一旦光束线的下游发生真空事故,产生大气泄漏,气体压力传
I. Introduction All-metal ultra-high vacuum quick shut-off valve (hereinafter referred to as the quick valve) is an important vacuum protection device for synchrotron radiation. It is placed upstream of the beamline, once the beamline downstream of the vacuum accident, resulting in atmospheric leakage, gas pressure transmission
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