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本文研究了p-InP/Ag-zn/Mn系的接触特性和界面互扩散问题。结果表明:该系的比接触电阻与Au-zn系相当。而Ag的内扩散程度较Au低,有利于器件可靠性的改善。该系用作InGaAsP/InP边发光管的p面电极,器件的Rs(?)4—6Ω。
P—InP／Ag—Zn／Mn系的接触特性及其应用
【摘 要】
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本文研究了p-InP/Ag-zn/Mn系的接触特性和界面互扩散问题。结果表明:该系的比接触电阻与Au-zn系相当。而Ag的内扩散程度较Au低,有利于器件可靠性的改善。该系用作InGaAsP/InP
【机 构】
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中国科学院上海冶金所,上海测试技术所上海,上海,上海
【出 处】
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电子科学学刊
【发表日期】
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1990年2期
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