【摘 要】
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为了研究沉积气压对多弧离子镀MoN涂层结构和性能的影响,优化涂层的制备工艺参数,现采用多弧离子镀技术通过改变沉积过程中N2的气压在硬质合金表面获得不同的Mo N涂层。分别
【机 构】
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华南理工大学国家金属材料近净成形工程技术研究中心; 广州铁路职业技术学院机械与电子学院;
【基金项目】
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广东省高等学校优质青年教师培养项目(YQ2015208);轨道交通装备减摩抗磨及修复应用技术协同创新中心项目
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为了研究沉积气压对多弧离子镀MoN涂层结构和性能的影响,优化涂层的制备工艺参数,现采用多弧离子镀技术通过改变沉积过程中N2的气压在硬质合金表面获得不同的Mo N涂层。分别采用GIXRD、SEM、维氏显微硬度计、UMT摩擦磨损实验机和划痕仪等对MoN涂层的物相结构、微观形貌、显微硬度、摩擦系数与膜基结合力等进行分析。结果表明:随着沉积气压的增大,涂层的相结构从γ-Mo2N逐渐转化为δ-MoN,其中δ相(200)晶面衍射峰逐渐增强;膜层表面质量逐渐变好,膜基结合强度、平均摩擦系数均先增大后减小,相对于基体表现出了较好的摩擦性能。
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