【摘 要】
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薄膜晶体管(TFT)是众多场效应晶体管(FET)中的一种.PC机及监视器等高清晰度液晶显示(LCD)中的TFT以有源矩阵的形式应用在点阵驱动的有源矩阵液晶显示器(AMLCD)中.作为开关器
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薄膜晶体管(TFT)是众多场效应晶体管(FET)中的一种.PC机及监视器等高清晰度液晶显示(LCD)中的TFT以有源矩阵的形式应用在点阵驱动的有源矩阵液晶显示器(AMLCD)中.作为开关器件,AMLCD中的TFT工作在饱和模式,其源极总是连接数据总线(视频),漏极接像素电极.其结构为交错/反交错和共面/反共面两种基本类型.TFT的主要工艺与IC技术兼容,半导体层所用的材料主要是a-Si.
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