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本文采用多弧离子镀技术在奥氏体不锈钢表面沉积Ti-Al-N三元化合物涂层,并研究了多弧离子镀工艺参数对涂层厚度的影响.结果表明：负偏压对涂层厚度影响最大,时间次之,靶电流影响较小,氮气通量的影响程度最小.
多弧离子镀对涂层厚度的影响
【摘 要】
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本文采用多弧离子镀技术在奥氏体不锈钢表面沉积Ti-Al-N三元化合物涂层,并研究了多弧离子镀工艺参数对涂层厚度的影响.结果表明：负偏压对涂层厚度影响最大,时间次之,靶电流影
【机 构】
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长春理工大学光电信息学院机电工程分院
【出 处】
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石化技术
【发表日期】
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2017年6期
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