ICP-AES法快速测定氮化硅结合碳化硅材料中氧化物杂质

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采用混合熔剂熔融氮化硅结合碳化硅材料试样,快速除硅后采用ICP-AES法测定试样中氧化铁,氧化钙和氧化铝含量。通过试验确定了熔样条件及除硅方法、仪器最佳工作参数等。用本方法测定氮化硅结合碳化硅材料试样,结果与湿化学法分析结果相一致。
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