X射线光电子能谱

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X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)技术也被称作用于化学分析的电子能谱(electron spectroscopy for chemical analysis,ESCA).XPS属表面分析法,它可以给出固体样品表面所含的元素种类、化学组成以及有关的电子结构重要信息,在各种固体材料的基础研究和实际应用中起着重要的作用.文章简要介绍了XPS仪器的工作原理和分析方法,并给出了XPS在科学研究工作中的应用实例.
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