新型Al金属化系统微波器件EB结的可靠性研究

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对具有Al-Si-Pd/TiN/Ti/PtSi/Si(样品A)和Al-Si-Pd/Ti/PtSi/Si两种新型金属化结构的微波管的EB结在不同温度、相同电流条件下进行加速寿命试验,得到其中值寿命相差近一倍,激活能分别为0.92和0.79eV,并给出了在温度和电流力下EB结反向击穿特性的变化规律。
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