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期刊论文
用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜
用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜
来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ZuoLuo
【摘 要】
:
本文报道了用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜,薄膜具有(002)取向,通过电子扫描显微镜确认晶粒大小在150nm左右,现有的薄膜在525nm处有强的光致发光.
【作 者】
:
张彬
林碧霞
傅竹西
施朝淑
【机 构】
:
中国科学技术大学中国科学技术大学物理系
【出 处】
:
发光学报
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
氧化锌薄膜
电子束热蒸发
光致发光光谱
ZNO
薄膜制备
电子扫描显微镜
ZnO thin film electron beam evaporation PL
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本文报道了用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜,薄膜具有(002)取向,通过电子扫描显微镜确认晶粒大小在150nm左右,现有的薄膜在525nm处有强的光致发光.
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