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以石英晶体、单晶硅、钽酸锂、铌酸锂、陶瓷、红蓝宝石等为代表的光电子材料在光电子元件中的应用越来越广泛。本文从线锯切、磨削两个方面详细阐述了光电子材料的磨粒加工技术原理、影响因素及优缺点,并对光电子材料磨粒加工技术发展趋势进行了展望,为下一步研究提出了需要重点关注的领域。
光电子材料磨粒加工技术综述
【摘 要】
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以石英晶体、单晶硅、钽酸锂、铌酸锂、陶瓷、红蓝宝石等为代表的光电子材料在光电子元件中的应用越来越广泛。本文从线锯切、磨削两个方面详细阐述了光电子材料的磨粒加工技
【机 构】
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烟台职业学院,曲阜师范大学
【出 处】
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北京印刷学院学报
【发表日期】
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2018年3期
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