GaAs（100）面硫钝化的HREELS与XPS研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhyj747

【摘要】

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用高分辨电子能量损失谱(HREELS)结合XPS研究了硫钝化的GaAs(100)面.HREELS的结果与XPS一致,证明钝化后GaAs(100)面的自然氧化物被完全除去,样品表面形成了一层主要由As-S键

【作者】

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朱建红侯晓远

【出处】

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半导体学报

【发表日期】

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1991年12期

【关键词】

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GAAS 硫纯化 HREELS XPS 氧化物

【基金项目】

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国家自然科学基金

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用高分辨电子能量损失谱(HREELS)结合XPS研究了硫钝化的GaAs(100)面.HREELS的结果与XPS一致,证明钝化后GaAs(100)面的自然氧化物被完全除去,样品表面形成了一层主要由As-S键构成的钝化层.钝化样品表面的沾污主要是H_2O与碳氢化合物.在钝化前增加样品在浓HC1中浸泡的处理,能使沾污物在真空退火后被彻底除去.

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